ZYFB-3600渦輪分子泵
技術(shù)參數表
型號
ZYFB-3600 進(jìn)氣口法蘭
400 ISO-K 排氣口法蘭
100 ISO-K
抽氣速率(L/S)(對空氣) 3600
壓縮比
N2>108 H2>6X102
極限壓強(Pa)<2×10-6
額定轉速(rpm)12600
使用軸承
進(jìn)口陶瓷軸承
振動(dòng)值≤0.15μm
啟動(dòng)時(shí)間(min)<10
停機時(shí)間(min)<20
建議采用的前級泵(L/S)30
冷卻方式 水冷
冷卻水溫度(℃)≤20
冷卻水流量(L/min)1
泵體烘烤溫度(℃)<80
環(huán)境溫度(℃)5-40
安裝方向
垂直±5°
泵重量(kg)≈100
ZYFB-3600渦輪分子泵
是靠高速轉動(dòng)的轉子攜帶氣體分子運動(dòng)從而獲得超高真空的一種機械式真空泵,是由動(dòng)葉輪與靜葉輪組合而成,比擴散泵節能、無(wú)油蒸汽污染,同時(shí)具有分子流時(shí)抽速大、壓縮比高的特點(diǎn),是目前國內大抽速的分子泵,動(dòng)葉輪采用變截面加工,其強度增加重量減少,使分子泵性能更可靠、穩定。
此分子泵對被抽氣體無(wú)選擇性、無(wú)記憶效應,由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應用于電子、冶金、化工、科研及真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。
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