ZYFB-1200復合分子泵廠(chǎng)家
這種泵具體可分為:
1)牽引分子泵 氣體分子與高速運動(dòng)的轉子相碰撞而獲得動(dòng)量,被驅送到泵的出口。
2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
3)復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復合型的分子真空泵。
復合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合,集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體。泵在很寬的壓力范圍內 ((10-6 ~ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比,大大提高了泵的出口壓力。法國 Alcatle 公司生產(chǎn)的一種采用氣體靜*承和動(dòng)密封的復合分子泵,可以做到*無(wú)油,且不用前級泵直接向大氣中排氣。
(1)轉子轉速達到20000r/min,故分子泵啟動(dòng)時(shí)間較長(cháng)。
(2)氣體處于分子流狀態(tài),故需要配備前級泵,一般使用旋片泵作為前級泵。
在復合分子泵的設計中,必須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關(guān)系。由于渦輪級有較大的抽氣面積,抽速很大,而牽引級溝槽抽氣面積較小,在兩種結構的聯(lián)接處,由渦輪葉片壓縮下來(lái)的氣體分子的流動(dòng)方式突然轉變,使氣體分子的運動(dòng)在聯(lián)接處由有序變成無(wú)序,至使返流增加,抽氣能力下降。因此,在設計時(shí)應在渦輪級和牽引級轉換處加上過(guò)渡級結構,以提高泵的抽氣性能。
隨著(zhù)復合分子泵的不斷改進(jìn),其應用領(lǐng)域越來(lái)越廣,在某些抽氣系統上可以替代擴散泵,縮短了系統的抽氣時(shí)間,并可獲得無(wú)油污染的清潔真空環(huán)境。
鳴富真空科技(上海)有限公司
電話(huà):
傳真:
地址:松江區玉陽(yáng)路838弄8號
郵編: