ZYFB-3600渦輪分子泵

是靠高速轉動(dòng)的轉子攜帶氣體分子運動(dòng)從而獲得超高真空的一種機械式真空泵，是由動(dòng)葉輪與靜葉輪組合而成，比擴散泵節能、無(wú)油蒸汽污染，同時(shí)具有分子流時(shí)抽速大、壓縮比高的特點(diǎn)，是目前國內大抽速的分子泵，動(dòng)葉輪采用變截面加工，其強度增加重量減少，使分子泵性能更可靠、穩定。

此分子泵對被抽氣體無(wú)選擇性、無(wú)記憶效應，由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應用于電子、冶金、化工、科研及真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。

ZYFB-3600渦輪分子泵

技術(shù)參數表

型號

ZYFB-3600

進(jìn)氣口法蘭

400 ISO-K

排氣口法蘭

100 ISO-K

抽氣速率(L/S)(對空氣)

3600

壓縮比

N2

>108

H2

>6X102

極限壓強(Pa)

<2×10-6

額定轉速(rpm)

12600

使用軸承

進(jìn)口陶瓷軸承

振動(dòng)值

≤0.15μm

啟動(dòng)時(shí)間(min)

<10

停機時(shí)間(min)

<20

建議采用的前級泵（L／S）

30

冷卻方式

水冷

冷卻水溫度（℃）

≤20

冷卻水流量(L/min)

1

泵體烘烤溫度（℃）

<80

環(huán)境溫度（℃）

5-40

安裝方向

垂直±5°

泵重量(kg)

≈100