ZYFB-1200型復合分子泵機組

設計要點(diǎn)

在復合分子泵的設計中，必須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關(guān)系。由于渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種結構的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來(lái)的氣體分子的流動(dòng)方式突然轉變，使氣體分子的運動(dòng)在聯(lián)接處由有序變成無(wú)序，至使返流增加，抽氣能力下降。因此，在設計時(shí)應在渦輪級和牽引級轉換處加上過(guò)渡級結構，以提高泵的抽氣性能。

隨著(zhù)復合分子泵的不斷改進(jìn)，其應用領(lǐng)域越來(lái)越廣，在某些抽氣系統上可以替代擴散泵，縮短了系統的抽氣時(shí)間，并可獲得無(wú)油污染的清潔真空環(huán)境。

結構特點(diǎn)

復合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合，集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體。泵在很寬的壓力范圍內 ((10-6 ～ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。法國 Alcatle 公司生產(chǎn)的一種采用氣體靜*承和動(dòng)密封的復合分子泵，可以做到*無(wú)油，且不用前級泵直接向大氣中排氣。

分類(lèi)

這種泵具體可分為：

1)牽引分子泵 氣體分子與高速運動(dòng)的轉子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅送到泵的出口。

2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。

3)復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復合型的分子真空泵。

工作條件

（1）轉子轉速達到20000r/min，故分子泵啟動(dòng)時(shí)間較長(cháng)。

（2）氣體處于分子流狀態(tài)，故需要配備前級泵，一般使用旋片泵作為前級泵。

ZYFB-1200型復合分子泵機組