復合式分子泵

   復合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合，集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體。泵在很寬的壓力范圍內 ((10-6 ～ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。法國 Alcatle 公司生產(chǎn)的一種采用氣體靜*承和動(dòng)密封的復合分子泵，可以做到*無(wú)油，且不用前級泵直接向大氣中排氣。

      復合式分子泵的形式很多，按結構分，主要有兩種：一種是渦輪葉片與盤(pán)式牽引泵的串聯(lián)組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級主要用來(lái)提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的葉片形狀，級數在 l0 級以?xún)?。牽引級主要用?lái)增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。

       盤(pán)式牽引級是在平板圓盤(pán)平面上按一定規律開(kāi)出數條型線(xiàn)溝槽，然后將數塊圓盤(pán)串接起來(lái)構成，型線(xiàn)有阿基米德螺線(xiàn)、對數螺線(xiàn)、圓弧線(xiàn)等。抽氣時(shí)靠高速轉動(dòng)的圓盤(pán)對氣體分子進(jìn)行“拖動(dòng)”，使其沿溝槽作由內向外及由外向內的往復折回的定向流動(dòng)，從而達到抽氣目的。

       筒式牽引級是在圓筒形的轉子或定子的圓柱面上開(kāi)一定斷面形狀的溝槽，如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。由于簡(jiǎn)式牽引泵型線(xiàn)溝槽開(kāi)在轉子圓柱外表面或泵體內表面上，因此可以充分利用圓柱外圓較高的線(xiàn)速度對氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞，提高泵的抽氣效果。在設計制造中，可以通過(guò)改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角 ( 螺旋升角 ) 來(lái)達到較理想的抽氣效果。

       在復合分子泵的設計中，必須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關(guān)系。由于渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種結構的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來(lái)的氣體分子的流動(dòng)方式突然轉變，使氣體分子的運動(dòng)在聯(lián)接處由有序變成無(wú)序，至使返流增加，抽氣能力下降。因此，在設計時(shí)應在渦輪級和牽引級轉換處加上過(guò)渡級結構，以提高泵的抽氣性能。

       隨著(zhù)復合分子泵的不斷改進(jìn)，其應用領(lǐng)域越來(lái)越廣，在某些抽氣系統上可以替代擴散泵，縮短了系統的抽氣時(shí)間，并可獲得無(wú)油污染的清潔真空環(huán)境。