復合式分子泵按結構可分為哪幾種呢？

　　隨著(zhù)復合式分子泵的不斷改進(jìn)，其應用領(lǐng)域越來(lái)越廣，在某些抽氣系統上可以替代擴散泵，縮短了系統的抽氣時(shí)間，并可獲得無(wú)油污染的清潔真空環(huán)境。

　　復合式分子泵用來(lái)獲得高真空和超高真空，其廣泛應用于高能加速器、可控熱核反應裝置、等離子體物理空間研究、表面物理和分析儀器、半導體和光學(xué)元器件制造、平板顯示、太陽(yáng)能電池、真空鍍膜、真空冶煉等涉及真空技術(shù)的電子、冶金、化工、科研等眾多領(lǐng)域。

　　復合式分子泵的形式很多，按結構分，主要有兩種：一種是渦輪葉片與盤(pán)式牽引泵的串聯(lián)組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級主要用來(lái)提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的葉片形狀，級數在l0級以?xún)?。牽引級主要用?lái)增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。

　　盤(pán)式牽引級是在平板圓盤(pán)平面上按一定規律開(kāi)出數條型線(xiàn)溝槽，然后將數塊圓盤(pán)串接起來(lái)構成，型線(xiàn)有阿基米德螺線(xiàn)、對數螺線(xiàn)、圓弧線(xiàn)等。抽氣時(shí)靠高速轉動(dòng)的圓盤(pán)對氣體分子進(jìn)行“拖動(dòng)”，使其沿溝槽作由內向外及由外向內的往復折回的定向流動(dòng)，從而達到抽氣目的。

　　筒式牽引級是在圓筒形的轉子或定子的圓柱面上開(kāi)一定斷面形狀的溝槽，如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。由于簡(jiǎn)式牽引泵型線(xiàn)溝槽開(kāi)在轉子圓柱外表面或泵體內表面上，因此可以充分利用圓柱外圓較高的線(xiàn)速度對氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞，提高泵的抽氣效果。在設計制造中，可以通過(guò)改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角(螺旋升角)來(lái)達到較理想的抽氣效果。