渦輪分子泵是利用高速旋轉的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快,能抗各種射線(xiàn)的照射,耐大氣沖擊,無(wú)氣體存儲和解吸效應,無(wú)油蒸氣污染或污染很少,能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。
是由動(dòng)葉輪與靜葉輪組合而成,比擴散泵節能、無(wú)油蒸汽污染,同時(shí)具有分子流時(shí)抽速大、壓縮比高的特點(diǎn),是目前國內大抽速的分子泵,動(dòng)葉輪采用變截面加工,其強度增加重量減少,使分子泵性能更可靠、穩定。
動(dòng)葉輪外緣的線(xiàn)速度高達氣體分子熱運動(dòng)的速度(一般為150~400米/秒)。單個(gè)葉輪的壓縮比很小,渦輪分子泵要由十多個(gè)動(dòng)葉輪和靜葉輪組成。動(dòng)葉輪和靜葉輪交替排列。動(dòng)、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。右圖為20個(gè)動(dòng)葉輪組成的整體式轉子。每?jì)蓚€(gè)動(dòng)葉輪之間裝一個(gè)靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定并使動(dòng)、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動(dòng)葉輪可在靜葉輪間自由旋轉。
渦輪分子泵的特點(diǎn):
1、抽速大、無(wú)油、啟動(dòng)快、無(wú)油污染、維護簡(jiǎn)單
2、工作范圍:清潔的低真空~中、高真空,大氣~超高真空
3、極限真空:10/10torr