今日淺看復合式分子泵的結構特點(diǎn)

　　復合式分子泵的結構特點(diǎn)：

　　復合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合，集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體。泵在很寬的壓力范圍內 ((10-6 ～ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。法國 Alcatle 公司生產(chǎn)的一種采用氣體靜承和動(dòng)密封的復合分子泵，可以做到*無(wú)油，且不用前級泵直接向大氣中排氣。

　　在復合式分子泵的設計中，必須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關(guān)系。由于渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種結構的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來(lái)的氣體分子的流動(dòng)方式突然轉變，使氣體分子的運動(dòng)在聯(lián)接處由有序變成無(wú)序，至使返流增加，抽氣能力下降。因此，在設計時(shí)應在渦輪級和牽引級轉換處加上過(guò)渡級結構，以提高泵的抽氣性能。

　　隨著(zhù)復合式分子泵的不斷改進(jìn)，其應用領(lǐng)域越來(lái)越廣，在某些抽氣系統上可以替代擴散泵，縮短了系統的抽氣時(shí)間，并可獲得無(wú)油污染的清潔真空環(huán)境。

　　復合式分子泵的形式很多，按結構分，主要有兩種：一種是渦輪葉片與盤(pán)式牽引泵的串聯(lián)組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級主要用來(lái)提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的葉片形狀，級數在 l0 級以?xún)?。牽引級主要用?lái)增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。