分子泵生產(chǎn)廠(chǎng)家
分子泵是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。
這種泵具體可分為:
1)牽引分子泵 氣體分子與高速運動(dòng)的轉子相碰撞而獲得動(dòng)量,被驅送到泵的出口。
2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
3)復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復合型的分子真空泵。
(1)轉子轉速達到20000r/min,故分子泵啟動(dòng)時(shí)間較長(cháng)。
(2)氣體處于分子流狀態(tài),故需要配備前級泵,一般使用旋片泵作為前級泵。
復合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合,集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體。泵在很寬的壓力范圍內 ((10-6 ~ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比,大大提高了泵的出口壓力。法國 Alcatle 公司生產(chǎn)的一種采用氣體靜*承和動(dòng)密封的復合分子泵,可以做到*無(wú)油,且不用前級泵直接向大氣中排氣。
分子泵生產(chǎn)廠(chǎng)家
復合式分子泵的形式很多,按結構分,主要有兩種:一種是渦輪葉片與盤(pán)式牽引泵的串聯(lián)組合;另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級主要用來(lái)提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的葉片形狀,級數在 l0 級以?xún)?。牽引級主要用?lái)增加泵的壓縮比,提高泵的出口壓力。
盤(pán)式牽引級是在平板圓盤(pán)平面上按一定規律開(kāi)出數條型線(xiàn)溝槽,然后將數塊圓盤(pán)串接起來(lái)構成,型線(xiàn)有阿基米德螺線(xiàn)、對數螺線(xiàn)、圓弧線(xiàn)等。抽氣時(shí)靠高速轉動(dòng)的圓盤(pán)對氣體分子進(jìn)行“拖動(dòng)”,使其沿溝槽作由內向外及由外向內的往復折回的定向流動(dòng),從而達到抽氣目的。
筒式牽引級是在圓筒形的轉子或定子的圓柱面上開(kāi)一定斷面形狀的溝槽,如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。由于簡(jiǎn)式牽引泵型線(xiàn)溝槽開(kāi)在轉子圓柱外表面或泵體內表面上,因此可以充分利用圓柱外圓較高的線(xiàn)速度對氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞,提高泵的抽氣效果。在設計制造中,可以通過(guò)改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角 ( 螺旋升角 ) 來(lái)達到較理想的抽氣效果。