渦輪分子泵是利用高速旋轉的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快,能抗各種射線(xiàn)的照射,耐大氣沖擊,無(wú)氣體存儲和解吸效應,無(wú)油蒸氣污染或污染很少,能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。 是由動(dòng)葉輪與靜葉輪組合而成,比擴散泵節能、無(wú)油蒸汽污染,同時(shí)具有分子流時(shí)抽速大、壓縮比高的特點(diǎn),是目前國內大抽速的分子泵,動(dòng)葉輪采用變截面加工,其強度增加重量減少,使分子泵性能更可靠、穩定。
泵的排氣壓力與進(jìn)氣壓力之比稱(chēng)為壓縮比。壓縮比除與泵的級數和轉速有關(guān)外,還與氣體種類(lèi)有關(guān)。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮(或空氣)的壓縮比為108~109;對氫為102~104;對分子量大的氣體如油蒸氣則大于1010。
泵的極限壓力為10-9Pa,工作壓力范圍為10-1~10-8Pa,抽氣速率為幾十到幾千升每秒(1L=10-3m3)。
渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)(氣體分子的平均自由程遠大于導管截面醉大尺寸的流態(tài))下工作才能顯示出它的*性,因此要求配有工作壓力為1~10-2Pa的前級真空泵。
分子泵本身由轉速為10000~60000轉/分的中頻電動(dòng)機直聯(lián)驅動(dòng)。