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渦輪分子泵是靠高速轉動(dòng)的轉子攜帶氣體分子運動(dòng)從而獲得超高真空的一種機械式真空泵,是由動(dòng)葉輪與靜葉輪組合而成,比擴散泵節能、無(wú)油蒸汽污染,同時(shí)具有分子流時(shí)抽速大、壓縮比高的特點(diǎn),是目前國內大抽速的分子泵,動(dòng)葉輪采用變截面加工,其強度增加重量減少,使分子泵性能更可靠、穩定。 渦輪分子泵是利用高速旋轉的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快,能抗各種射線(xiàn)的照射,耐大氣沖擊,無(wú)氣體存儲和解吸效應,無(wú)油蒸氣污染或污染很少,能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。
此分子泵對被抽氣體無(wú)選擇性、無(wú)記憶效應,由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應用于電子、冶金、化工、科研及真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。
是靠高速轉動(dòng)的轉子攜帶氣體分子運動(dòng)從而獲得超高真空的一種機械式真空泵,是由動(dòng)葉輪與靜葉輪組合而成,比擴散泵節能、無(wú)油蒸汽污染,同時(shí)具有分子流時(shí)抽速大、壓縮比高的特點(diǎn),是目前國內大抽速的分子泵,動(dòng)葉輪采用變截面加工,其強度增加重量減少,使分子泵性能更可靠、穩定。