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通篇淺析分子泵機組是什么？
分子泵是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為：
1.牽引分子泵氣體分子與高速運動(dòng)的轉子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅送到泵的出口。
2.渦輪分子泵靠高速旋轉的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
3.復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復合型的分子真空泵。
復合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合，集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體。泵在很寬的壓力范圍內((10-6～1Pa)具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。復合式分子泵的形式很多，按結構分，主要有兩種：一種是渦輪葉片與盤(pán)式牽引泵的串聯(lián)組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合；如下所示：
1、渦輪級主要用來(lái)提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的葉片形狀，級數在l0級以?xún)?。牽引級主要用?lái)增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。
2、盤(pán)式牽引級是在平板圓盤(pán)平面上按一定規律開(kāi)出數條型線(xiàn)溝槽，然后將數塊圓盤(pán)串接起來(lái)構成，型線(xiàn)有阿基米德螺線(xiàn)、對數螺線(xiàn)、圓弧線(xiàn)等。抽氣時(shí)靠高速轉動(dòng)的圓盤(pán)對氣體分子進(jìn)行“拖動(dòng)”，使其沿溝槽作由內向外及由外向內的往復折回的定向流動(dòng)，從而達到抽氣目的。
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