這就是渦輪分子泵優(yōu)異的性能！

　　主要有立式和臥式兩種。

　　動(dòng)葉輪外緣的線(xiàn)速度高達氣體分子熱運動(dòng)的速度（一般為150～400米/秒）。單個(gè)葉輪的壓縮比很小，渦輪分子泵要由十多個(gè)動(dòng)葉輪和靜葉輪組成。動(dòng)葉輪和靜葉輪交替排列。動(dòng)、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。右圖為20個(gè)動(dòng)葉輪組成的整體式轉子。每?jì)蓚€(gè)動(dòng)葉輪之間裝一個(gè)靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定并使動(dòng)、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動(dòng)葉輪可在靜葉輪間自由旋轉。

　　渦輪分子泵的性能;

　　泵的排氣壓力與進(jìn)氣壓力之比稱(chēng)為壓縮比。壓縮比除與泵的級數和轉速有關(guān)外，還與氣體種類(lèi)有關(guān)。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮（或空氣）的壓縮比為108～109；對氫為102～104；對分子量大的氣體如油蒸氣則大于1010。

　　泵的極限壓力為10-9Pa，工作壓力范圍為10-1～10-8Pa，抽氣速率為幾十到幾千升每秒（1L=10-3m3）。

　　渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)（氣體分子的平均自由程遠大于導管截面醉大尺寸的流態(tài)）下工作才能顯示出它的*性，因此要求配有工作壓力為1～10-2Pa的前級真空泵。

　　分子泵本身由轉速為10000～60000轉/分的中頻電動(dòng)機直聯(lián)驅動(dòng)。